近50年来，随着真空技术的研究和发展，已广泛应用于冶金、机械、化工、石油、轻工、食品、交通、环保等众多行业、部门和科研项目中、工业等，因此在获得真空所需的设备方面的研究工作也卓有成效。

由于科学技术的进步和制造技术的发展和革新，以半导体和电子产品为代表的工业制造技术也发生了革新。在其先进的制造过程中，要求无污染、高真空度的洁净真空。环境。

因此，干式真空泵以其在原理、结构、抽气效率等方面的突出优势，在许多领域得到广泛认可。其中，多级罗茨干式真空泵是这些领域中应用非常普遍的高效真空泵。获取其中一个设备。

对于干式真空泵输送泵，可分为狭义和广义两个方面。从狭义上讲，干式真空泵应定义为：抽气流道内没有液体工作介质或密封介质，排气口与大气相通，可以连续向大气排放，可以连续抽气。抽气范围从大气压到10Pa。

广义上的干式真空泵是指在常压到1×10-2Pa的压力范围内工作。在泵送流道（如泵腔）内，不能使用油和密封液。排气口与大气相通，能不断向大气中排放空气的泵称为干式真空泵。

干式真空泵属于气体输送泵，其中气体输送泵根据工作原理的不同可分为动量输送真空泵和容积式真空泵两种。动量输送真空泵包括例如涡轮泵和离心泵。

容积式干式真空泵的工作原理是在真空泵工作过程中，利用泵腔内容积的周期性变化来实现其抽气过程。由于体积工作原理的不同输送泵，它包括往复式真空泵和回转式真空泵。

其中，回转式真空泵包括现在被广泛认识、开发和使用的干式真空泵，主要有多级罗茨真空泵、多级柱塞泵、爪式泵、螺杆泵、涡旋泵等不同类型干式真空泵的工作特点和适用环境各不相同。下表1是几种典型干泵的性能比较。

表1 几种典型的干泵性能

干式真空泵的应用范围很广，主要是由于其独特的工作原理，使其在工作过程中能够清洁、高效地获得所需的真空环境。根据其使用的行业不同，大致可分为以下几个方面：

①在低压化学气相沉积多晶硅制备过程中；

②半导体刻蚀工艺。这些生产过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒；

③除半导体工艺外的一些产生颗粒的工艺，预计颗粒不会混入泵油中，但预计颗粒会被排出泵外，相应型号的干式机械真空泵可符合要求。

图1 多级罗茨干式真空泵流场

在设计结构上，干式真空泵通常采用两个或多个相互啮合的转子的啮合旋转来实现其抽气过程。相互啮合的转子之间必须有一定的啮合间隙。因此，干式真空泵在工作过程中，转子之间无摩擦，转动平稳，产生的噪音低。

真空泵的泵腔不需要油等工作介质，因此可以防止被抽容器被从泵腔回流的工作介质污染。而且也避免了某些特殊加工生产中使用的活性物质在抽气过程中与某些真空泵中的工作介质发生反应而导致真空泵不能正常工作的情况。

由于干式真空泵本身的设计机理，它可以抽取携带大量水蒸气和少量粉尘的气体。而且，就回转式容积干式真空泵而言，在抽气过程中对泵腔内的气体没有压缩作用，因此可用于抽吸可凝性气体等。

而且，干式真空泵的功耗更低，所能达到的极限真空度更高，具有节能、免维护等优点。曾经广泛使用的油封式真空泵已逐渐被干式真空泵所取代，应用范围已扩展到制药、化工、航空航天、半导体等众多行业。